二氯硅烷;DichIorosilane.
  2.用途:
  電子氣、外延、化學(xué)氣相淀積。
  3.制法:
  (1)硅烷或一氯硅烷在三氯化鋁存在下與氯化氫反應(yīng)。 (2)在高溫下,硅與氫及氯..." />

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